电子行业个使用的绝缘材料、溶剂、清洗剂、处影剂、光刻胶、蚀刻液等中：有大量有机物成分。在下艺过种中，这些仑机溶剂人邪分通过挥发成为废气排放。目的，针对这种气体排放，一般采用吸附、焚烧或两者相结合的处理方法。
    1、吸附法
    吸附是利用多扎件固体吸附剂处理混合气体，使其小所含的一种观多种组分吸附于出体表面上，达到分离的目的。吸附剂选择性高，能分开其他过程难以分开的混合物．有效地清除(或回收)浓度很低的有害物质，净化效率高，设备简单，操作力使，且能实现自动控制。但固体吸附剂的吸附容量小，需要大量的吸附剂，设备废大，且吸附后吸附剂需要再生处理，是吸附处理的丰要缺点。生产场所挥发出来的有机废气通过局部排风罩收集，经管道送至吸附净化系统。一般采用活件炭作为吸附剂，因为活性炭是非极性吸附剂，对废气小水蒸气的灵敏废人高，且价格便宜。
    2、焚烧法
    焚烧达是指说过热碱化将有机物转化为CO2和水。同时，焚烧对处理稳定流量和浓度的废气也是一种很好的方法。在热氧化中，有机废气流经过加热，气相中的有机物被氧化。为节省燃料使用，通常还使用热交换器，回收焚烧产生的热量对进口气体进行预热。对于处别人流量、低浓度的气体，通常都要采用这种方法。采用直燃式焚烧炉或蓄热式焚烧炉对有机废气进行燃烧处理，有机废气大除效率可达98％以上。但能耗高，投资大，易氧化空气中的N2，
    3、沸石浓缩转轮再生法
    也有一些生产家使用沸石浓缩转轮再个的方法处理有机废气，即用热空气加热将有机物从沸石浓缩转轮上脱附解吸出来．脱附下来的有机物己被浓缩成浓有机废气，进人燃烧器燃烧去除。有机废气处理设备的净化效率大丁90％。含有有机废气的排风经转轮吸附装置吸附后，其中的行机废气的浓度达到徘放标准，可排入大气。浓废气燃烧处理装置的燃料为天然气。