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电子工业有机废气处理的方法
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编辑: 浏览:1373 时间:2013-05-08
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电子工业中使用绝缘材料、溶剂、清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等中含有大量有机物成分。在下艺过种中,这些仑机溶剂人邪分通过挥发成为废气排放。目的,针对这种气体扒放, ‘胶采用吸附、焚烧或两者相结合的处理方法。 一、吸附法 吸附是利用多扎件固体吸附剂处理混合气体,使其小所含的一种观多种组分吸附于出体表面门达到分离的目的。吸附剂选择性向,能分开其他过程难以分井的混合物.有效地清除(或回收)浓度很低的有害物质,净化效率高,设备简单,操作力使,月能文现自动控制。但固体吸附剂的吸附容量小,需要大量的吸附剂,设备废大,且吸附屑吸附剂需要再生处理,是吸附处理的主丰要缺点。生产场所挥发出来的有机废气通过局邢排风里收集,经管道送至吸附净化系统。一般采用活件炭作为吸附剂,出为活性炭是非极性吸附剂,对废气小水蒸气的灵敏度不高,且价格便宜。 二、焚烧法 焚烧达是指说过热碱化将仑机物转化为CO2和水。同时,焚烧对处理稳定流量和浓度的废气也是一种很好的方法。在热氧化中,有机废气流经过加热,气相少的钉机物被缄化。为节省燃料使用,通常还他州热交换器,回收焚烧产生的热量对进n气体进行预热。对丁处别人流量、低浓度的气体,通常都要采用这种方法。采用玄燃式焚烧炉或蓄热式焚烧炉村有机废气进行燃烧处理,有机废气大除效率可达98%以上。们能耗向,投资人,易氧化空气小N2。 三、沸石浓缩转轮再生法 也有一些生产厂使用沸石浓缩转轮再个的方法处理有机废气,即用热空气加热将有机物从沸石浓缩转轮上脱附解吸出来.脱附下来的有机物己被浓缩成浓有机废气,进人燃烧器燃烧士除。有机废气处理设备的净化效率大丁90%。含钉钉机废气的排风经转轮吸附装置吸附后,其中的行机废气的浓度达到徘放标准,可排入大气。浓废气燃烧处理装置的燃料为天然气。
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